14纳米被写入上海政府工作报告：今年实现量产

1月27日，上海市第十五届人民代表大会第二次会议正式开幕，上海市市长应勇作政府工作报告，报告中回顾了2018年上海市的发展状况，并对2019年的重点工作及任务作出规划。上海市作为全国集成电·产业重要集聚区，其2019年政府工作报告中多处提及集成电·。

应勇在回顾2018年工作时表示，“五个中心”建设取得进展，其中包括成立国家集成电·制造业创新中心等一批科研机构。此外“四大品牌”建设全面启动，包括深制定实施集成电·、人工智能、生物医药等产业政策，积塔半导体等5个投资百亿元以上和15个投资十亿元以上的重大产业项目开工建设，工业投资增长17.7%、增幅创近十年新高，新能源汽车、高端医疗装备、集成电·、生物医药等新兴行业产值增长10%左右。

值得一提的是，应勇在宣布上海市2019年主要任务中提出要推动经济高质量发展，其中包括巩固提升实体经济能级：加快落实集成电·、人工智能、生物医药等产业政策，深入实施智能网联汽车等一批产业创新工程，推动中芯国际、和辉二期等重大产业项目加快量产，实现集成电·14纳米生产工艺量产，推进昊海生物、ABB机器人、盛美半导体等项目开工建设。

上述这段话体现了上海市对集成电·产业发展的重视，更值得注意的是还透¶了备受业界关注的中芯国际14纳米生产工艺之发展进程——将于今年实现量产。

众所周知，中芯国际近两年来在攻坚14纳米制程，其于2017年10月延揽三星及台积电前高管梁孟松担任联席首席执行官，助力14纳米制程以下先进制程的研发量产。据悉，梁孟松上任后加强了研发队伍建设、强化责任制，调整更新14纳米FinFET规划等，加快了研发步伐。

为了迎接14纳米制程的量产，2018年1月底中芯国际旗下为配合14纳米及以下先进制程建设的12英寸晶圆厂中芯南方拟增资扩股，中芯国际联同国家集成电·基金和上海集成电·基金共投资102.4亿美元，以加快14纳米及以下先进制程研发和量产计划，预计在2019年上半年投产。

尽管业界密切关注着中芯国际14纳米制程的进展，但中芯国际公开对外透¶的消息并不多。在2017年第四季度报中，中芯国际表示14 纳米研发进程进展顺利，预计将在2019年上半年量产14纳米FinFET 工艺技术，比原先预期提前了半年。

2018年6月中旬，业界传闻中芯国际14纳米FinFET制程已接近研发完成阶段，其试产的良率已达95%，但中芯国际并δ作出回应。2018年8月，中芯国际在发布第二季度业界报告是表示，“我们欣喜地告诉大家，在14纳米FinFET技术开发上获得重大进展。第一代FinFET技术研发已进入客户导入阶段。”这意ζ着离量产并不遥远了。

种种迹象表明，中芯国际14纳米制程将于今年实现量产，如今上海市政府工作报告中的短短一句话更是宛如给出“定心丸”。

不过，在为即将迎来14纳米制程高兴的同时，业界仍需清醒地认识到在集成电·制造领域我们与国际水平存在的差距。

如台积电2018年已量产7纳米制程，其EUV加强版7纳米制程亦将于今年量产，目前还在马不停蹄地研发5纳米、3纳米;2018年10月，三星亦宣布其7nm LPP(Low Power Plus)制程已进入量产阶段，3纳米目标于2020年量产;英特尔也表示2019年将量产10纳米制程......

可见，即便是代表着中国大½最先进水平的中芯国际，与国际水平仍存着明显代差，有待进一步努力追赶。有消息称，中芯国际量产14纳米制程后，有可能跳过10nm直接研发7nm芯片制造工艺。