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[导读]Plainview,N.Y., Veeco Instruments Inc.(Nasdaq:VECO)宣布与 ALLOS Semiconductors(ALLOS)完成一项战略措施,以展示 200mm 硅基板用于氮化镓蓝/绿光 Micro‐LED 的生产上。 Veeco 与 ALLOS 合作将其专有的磊晶技术转移到 Propel® Single‐Wafer MOCVD 系统上,以便于现有的硅生产线上实现生产 Micro‐LED。

Plainview,N.Y., Veeco Instruments Inc.(Nasdaq:VECO)宣布与 ALLOS Semiconductors(ALLOS)完成一项战略措施,以展示 200mm 硅基板用于氮化镓蓝/绿光 Micro‐LED 的生产上。 Veeco 与 ALLOS 合作将其专有的磊晶技术转移到 Propel® Single‐Wafer MOCVD 系统上,以便于现有的硅生产线上实现生产 Micro‐LED。

本文引用地址: http://www.21ic.com/news/opto/201802/752201.htm

“使用 Propel 反应腔,我们就拥有了一项 MOCVD 技术来实现高产能的 GaN 磊晶,可满足在200mm 硅生产线上生产 Micro‐LED 元件的所有要求, “ALLOS 半导体公司执行长 Burkhard Slischka表示。不到一个月的时间,我们就已经在 Propel 上建立了我们的技术,并且获得了无裂纹、无回熔 (meltback‐free)的晶圆,其翘曲度低于 30 微米,晶体质量高,优异的厚度均匀性与小于 1nm 的波长均匀性。和 Veeco 一起,ALLOS 期待将这种技术更广泛地应用于 Micro‐LED 的产业中。“

Micro‐LED 显示技术由< 30x30 平方微米的红色,绿色,蓝色(RGB)无机 LED 所组成,再转化为显示器背板以形成子像素。与 OLED 和 LCD 相比,这些高效率 LED 直接发射且耗电量更低,却可以为移动显示器,电视机和穿戴式装置提供卓越的亮度和对比度。Micro‐LED 的製造需要高质量、均匀的磊晶晶片来满足显示器的产量和成本控制的目标。

“与竞争对手的 MOCVD 平台相比,由于 Veeco 的 TurboDisc® technology 提供了更广泛的製程范围,因此 Propel 提供了一流的均匀性同时还能获得优良的薄膜品质。”Veeco 高级副总裁兼

 

MOCVD 营运总经理 Peo Hansson 博士表示。“将 Veeco 领先的 MOCVD 专业技术与 ALLOS 的 GaN‐ on‐Silicon 的磊晶技术结合在一起,使我们的客户能够开发出低成本的Micro‐LED,为新的市场中的开拓出新的应用。”

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