当前位置:首页 > 智能硬件 > 半导体
[导读]由半导体研究公司(SemiconductorResearchCorp.,SRC)所资助的一个研发团队日前宣布,已经开发出一种新颖的自组装技术,该技术之前仅在实验室进行实验,但现在已经能针对14nm半导体工艺完善地建立所需的不规则图案了。

由半导体研究公司(SemiconductorResearchCorp.,SRC)所资助的一个研发团队日前宣布,已经开发出一种新颖的自组装技术,该技术之前仅在实验室进行实验,但现在已经能针对14nm半导体工艺完善地建立所需的不规则图案了。

藉由解决芯片微缩过程中一项艰难的光刻挑战──即连接半导体和基板的微型接触过孔──这些斯坦福大学(StanfordUniversity)的研究人员展示了一款22nm的实作电路,声称可朝14nm转移,而且还能直接朝10nm以下节点发展。

“虽然也有其他研究单位证实了自组装的规则图案,”负责带领斯坦福大学SRC先导研究团队的PhilipWong说。“然而,这是首次针对未来次22nm芯片上的标准单元库,成功地运用定向自组装(DSA)建构所需的关键接触孔。

Wong的研究小组所开发的半导体不仅仅是测试架构,它是一款真正的22nm的实作电路,展示了DSA可用在未来的逻辑或存储器芯片中所需的任何不规则图案。该研究小组还证明了他们已经能应对模式中的缺陷问题,而且能维持整个晶圆的高分辨率和超精细功能。

“我们看到了Wong针对先进工艺节点所需的接触过孔所获得的关键性进展,而这正是当前业界面临的最艰困挑战,”SRC的纳米制造科学主管BobHavemann说。“Wong还使用了环保材料来进行开发,这也是另一个需要克服的障碍。”

斯坦福大学首次使用了标准光刻技术来为需要建构接触过孔的区域形成图案,使用的线宽可以是最终接触孔尺寸的两倍。如果接触孔对的间距是22nm,那么模版便可能会蚀刻出一个50nm长的椭圆型压痕。接下来,第二步骤是在晶圆上沉积自组装嵌段共聚物(block-copolymer),而且只活化压入区域(indentedareas)。透过精心制定共同聚合物的两个部分,便可自组装到需要以极密集间距蚀刻22nm过孔的精确图案位置。

“根据目前的展示,我们已经能够蚀刻22nm孔的不规则图案了,”该研究团队成员LindaHeYi说。“不过,我们目前的共聚物(copolymer)已经能处理小至14nm的图案中过孔。”

在涂层和蚀刻工艺中使用的溶剂是聚乙二醇乙醚醋酸脂,这是公认可取代传统溶剂的绿色替代产品。其它正在进行中的SRC专案也正藉由改善不同的聚合物配方,朝使用绿色材料将定向自组装技术推广到10nm以下的目标迈进。

这项研究专案同时独得美国国家科学基金会(NSF)提供的资金挹注。

本站声明: 本文章由作者或相关机构授权发布,目的在于传递更多信息,并不代表本站赞同其观点,本站亦不保证或承诺内容真实性等。需要转载请联系该专栏作者,如若文章内容侵犯您的权益,请及时联系本站删除。
换一批
延伸阅读

北京2023年9月19日 /美通社/ -- 随着科技的快速发展,我们正处在一个数据爆炸的时代。超大规模数据中心作为数据的重要存储和处理场所,其数量在不断增长,与之而来的数据量也在呈指数级增长。这不仅包括原始数据,还包括分...

关键字: 分布式 节点 软件 数据中心

(全球TMT2023年9月5日讯)在2023年华为云沙特峰会上,华为宣布,华为云利雅得节点正式开服。本次开服后,利雅得节点将成为华为云服务中东、中亚和非洲的核心节点。华为云利雅得节点通过3AZ(可用区)架构,提供了高可...

关键字: 节点 华为云 云服务 GO

沙特阿拉伯利雅得2023年9月4日 /美通社/ -- 在2023年华为云沙特峰会上,华为宣布,华为云利雅得节点正式开服,推动该国数字经济增长。 本次开服后,利雅得节点将成为华为云服务中东、中亚和非洲的核心节点,可提供创...

关键字: 华为云 节点 AI 数字化

全闪存存储的历史性时刻到来! 北京2023年8月30日 /美通社/ -- Gartner最新数据显示,2023年第一季度全球外部存储市场同比增长0.5%;其中,全闪存阵列同比增长3.6%,市场规模超过非全闪存阵列,占整...

关键字: 数据中心 数据存储 节点 机械硬盘

杭州2023年8月25日 /美通社/ -- 8月17日,以"绿色永续制造"为主题,正泰新能常务副总裁、可持续发展官黄海燕在在近期的一次公开演讲中,公布了以2028年、2035年和2050年为主要时间节...

关键字: 可持续发展 光伏组件 ROM 节点

(全球TMT2023年8月11日讯)8月9日,杭州鄂达精密机电科技有限公司的德沃克智造MES项目全面启动。鄂达精密成立于2007年,是一家专业从事高精密机电零部件设计研发、制造、销售为一体的国家级高新技术企业。鄂达精密...

关键字: 机电 节点 零部件 仓储物流

北京2023年2月27日 /美通社/ -- 2月25日,由中企联合CHIRC主办的"第十七届中国雇主品牌年会暨年度颁奖盛典"在京举行。 第十七届中国雇主品牌年会暨年度颁奖盛典现场 经中国雇主品牌年...

关键字: 数字化 SAAS 节点 创始人

北京2023年2月23日 /美通社/ -- 晴空万里、群星璀璨的丽江高美古,在纳西语中的释义是"天气好、星星多、离天最近的地方"。这里的年平均晴天超200天,视宁度达到世界优良台址的水平,大气洁净透明...

关键字: 分布式 望远镜 节点 读写

济南2023年1月28日 /美通社/ -- 近日,中国科学技术协会公布2022年“科创中国”系列榜单,经中国电子学会评审、推荐,中国科学技术协会两轮评审,浪潮集团旗下浪潮云洲入选新锐企业榜。 近日,中国科学技术协会公布...

关键字: 区块链 数字化 节点 中国电子学会

济南2022年12月22日 /美通社/ -- 近日,“链接湾区 融贯全球”2022第二届数字贸易创新应用峰会暨“星火·链网”国际超级节点(澳门)发布会在澳门举行,北京、山东设线上会场。会议由澳门特...

关键字: 节点 MIDDOT 信息通信 数字经济
关闭
关闭