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[导读] 近日消息,长江存储从荷兰阿斯麦(ASML)公司订购的一台光刻机(非EUV光刻机)已抵达武汉。这台光刻机价值高达7200万美元,约合人民币4.6亿元。此外,中芯国际中芯国际也向阿斯麦下单了一台价值高达1.2亿美元的EUV(极

 近日消息,长江存储从荷兰阿斯麦(ASML)公司订购的一台光刻机(非EUV光刻机)已抵达武汉。这台光刻机价值高达7200万美元,约合人民币4.6亿元。

本文引用地址: http://www.21ic.com/news/semi/201805/765982.htm

此外,中芯国际中芯国际也向阿斯麦下单了一台价值高达1.2亿美元的EUV(极紫外线)光刻机,1.2亿美元!中芯国际下单ASML EUV光刻机。这台机器预计将于2019年初交货。

荷兰当地媒体《埃因霍温经济报》也证实了上述消息。

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从飞利浦独立出来的阿斯麦公司在高端光刻机领域占据了全球90%的市场份额。光刻机(又称曝光机)是生产大规模集成电路的核心设备,对芯片工艺有着决定性的影响。

如今,中国两家企业先后订购了两台高端光刻机,总价值约12.3亿元人民币。阿斯麦ASML公司从行动上否认有媒体关于“高端光刻机对中国大陆禁运”的传闻,强调对中国大陆客户一视同仁。

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此外,阿斯麦公司接受中芯国际订单的时间点是在今年4月中兴通讯遭遇美国制裁之后。

长江存储迎来第一台光刻机

2016年,紫光集团与国家集成电路产业投资基金、湖北科投等合资成立了长江存储,注册资本额为人民币386亿元。长江存储公司是中国高端芯片联盟发起单位之一,被寄望推动中国半导体产业自主研发。

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2.jpg长江存储官网宣传片截图

据报道,长江存储订购的这台光刻机采用193nm沉浸式设计,可生产20-14nm工艺的3D NAND闪存晶圆,售价达7200万美元,约合人民币4.6亿元。

目前,该机已经运抵武汉天河机场,相关入境手续办理完毕后,即可运至长江存储的工厂。

根据官网资料,2016年底,国家存储器基地项目(一期)一号生产和动力厂房在武汉正式开工建设,2017年9月底提前封顶,2018年4月5日首批价值400万美元的精密仪器进场安装。

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国家存储器基地项目芯片生产机安装仪式

目前,长江存储拥有完全自主知识产权的32层堆叠3D NAND闪存已经开始试产,不少产业链企业都拿到了样片测试,预计今年第四季度量产。同时,长江存储还在推进64层堆叠3D闪存,力争2019年底实现规模量产,将与世界领先水平差距缩短到2年之内。

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