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基础知识

微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。微机电系统其内部结构一般在微米甚至纳米量级,是一个独立的智能系统。微机电系统是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。微机电系统是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统。MEMS是一项革命性的新技术,广泛应用于高新技术产业,是一项关系到国家的科技发展、经济繁荣和国防安全的关键技术。MEMS侧重于超精密机械加工,涉及微电子、材料、力学、化学、机械学诸多学科领域。它的学科面涵盖微尺度下的力、电、光、磁、声、表面等物理、化学、机械学的各分支。常
  • 一文看懂微流控芯片的工作原理

    微型化、集成化和智能化,是现代科技发展的一个重要趋势。伴随着微机电加工系统(MEMS )技术的发展,电子计算机已由当年的“庞然大物“ 演变成由一个个微小的电路集成芯片组成的便携系统,甚至是一部微型的智能手机。

    类别: [嵌入式] 2018-05-14关键词:微流控芯片   MEMS   微型压力传感器   

  • MEMS加速度计是什么 加速度计工作原理

    加速度计是一种惯性传感器,能够测量物体的加速力。加速力就是当物体在加速过程中作用在物体上的力,就比如地球引力,也就是重力。加速力可以是个常量,比如g,也可以是变量。

    类别: [电源] 2018-05-09关键词:惯性传感器   加速度   MEMS   

  • 利用MEMS加速计的低功耗应用设计

    低功耗可利用MEMS加速计(Accelerometer)传感器来增加电池寿命。传感器变得越来越省电,所嵌入的各种功能也有助于减少整体系统能耗。举例来说,当用户不使用该装置时,动作感应唤醒功能让整个系统保持休眠状态。不过还有很多其他的可能性,利用MEMS加速计来减少整体功耗。

    类别: [模拟技术] 2018-04-24关键词:低功耗   MEMS   MEMS加速计   

  • 利用MEMS加速计的低功耗应用设计

    低功耗可利用MEMS加速计(Accelerometer)传感器来增加电池寿命。传感器变得越来越省电,所嵌入的各种功能也有助于减少整体系统能耗。举例来说,当用户不使用该装置时,动作感应唤醒功能让整个系统保持休眠状态。不过还有很多其他的可能性,利用MEMS加速计来减少整体功耗。

    类别: [嵌入式] 2018-04-24关键词:MEMS   MCU   传感器   

  • 富昌电子与Bosch Sensortec的分销协议拓展至亚太地区

    全球领先的电子元器件分销商富昌电子(Future Electronics)日前宣布,将与微机电(MEMS)传感器市场技术领导者Bosch Sensortec的授权分销协议拓展至整个亚太地区。

    类别: [嵌入式] 2018-02-14关键词:富昌电子   MEMS   传感器   

  • 穿戴产品中的MEMS

    众所周知,最新的传感器都采用微机电系统(MEMS)技术。基于MEMS的元器件(传感器和致动器)在大约10年前开始进入穿戴产品市场,在计步器中,加速度计首次替代机械式弹簧。

    类别: [智能硬件] 2017-12-22关键词:穿戴产品   MEMS   

  • 英飞凌高信噪比MEMS麦克风助力XMOS推出的亚马逊AVS远场开发套件实现强大功能

    XMOS推出适用于远场应用、面向亚马逊Alexa语音服务的VocalFusion 4麦克风开发套件。该套件集成英飞凌的高信噪比麦克风,可确保最高性能和可靠性。

    类别: [智能硬件] 2017-10-12关键词:英飞凌   MEMS   麦克风XMOS   

  • 车用传感器及MEMS市场加速成长,规模翻倍

    拜电动车及自驾车蓬勃发展之赐,车用芯片、车用传感器市场成长快速,尤其车用雷达、CMOS影像传感器等高价感测模块出货成长突飞猛进,市调机构Yole Developpement预估,车用传感器、 微机电(MEMS)市场规模将从2016年的110亿美元,至2022年扩增至230亿美元,市场规模等于成长逾1倍,年复合成长率高达13.7%。

    类别: [汽车电子] 2017-09-19关键词:车用传感器   MEMS   

  • SENSOR CHINA 2017:国内热门物联网应用创新案例和商用程度大检视

    据YoleDéveloppement数据显示,MEMS和传感器市场规模将从2016年的380亿美元增长至2021年的660亿美元,复合年增长率达12%。传感技术的进步是各类物联网应用爆发的主要驱动力之一,那么在中国,传感器产业正在助力哪些物联网创新应用落地?

    类别: [传感器] 2017-09-07关键词:MEMS   传感器   物联网应用   

  • MEMS加速度计的振动校正

    高性能MEMS加速度计为各种集成惯性测量的应用提供低成本解决方案。具体例子包括:导航和AHRS系统,用于机器健康状况检测的振动监控,基础设施的结构健康状况监控,以及用于平台稳定、井下定向钻探的倾斜监控、施工行业平路机和勘测设备的调平、吊车稳定系统吊杆倾角测量的高精度倾角计。在大多数此类例子中,加速度计会经受不同幅度的振动。这些应用的另一个不同方面是振动的频率成分。振动与传感器和系统误差源相结合可能导致振动校正,这是高性能加速度计的一个重要指标。本文说明MEMS加速度计中的振动校正是如何发生的,并讨论各种测量此参数的技术。作为案例研究,本文会讨论低噪声、低功耗加速度计ADXL355的振动校正。低振动校正误差以及所有其他特性,使这款器件成为上述精密应用的理想之选。

    类别: [工业控制] 2017-08-10关键词:MEMS   加速度计   

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