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[导读]2005年3月7日,吉时利公司在北京召开新闻发布会,推出两款新的半导体测量设备。 第一款是2600系列数字系统源表(System SourceMeter®)仪器,这是一个新的平台,能为包括硅和化合物半导体制造商在内的大量广

2005年3月7日,吉时利公司在北京召开新闻发布会,推出两款新的半导体测量设备。

第一款是2600系列数字系统源表(System SourceMeter®)仪器,这是一个新的平台,能为包括硅和化合物半导体制造商在内的大量广阔范围内的电子元器件制作制造商显著有效地降低测试成本的新的平台。 2600系列数字系统源表仪器建立在吉时利公司第三代源测量技术(已申请专利)基础之上,综合了具有本行业最高吞吐通过量的源测量单元设备(SMU)和可升级的仪器构成因子,允许无缝集成1至16通道该的数字系统源表仪器到一个从1号至16号SMU通道无缝集成到系统中。 2600系列系统数字源表仪器目前包含由2601型单通道和2602型双通道型组成,是构建ATE系统的比较理想的选择,模块化结构并可升级仪器,可用于构建ATE系统用于,各种执行精密的DC、脉冲以及低频AC信号的源-测量测试应用。 


2600系列数字系统源表仪器通过吉时利公司的嵌入式测试脚本处理器(TSP™)为各制造商提供了行业界领先的通过测试速率。测试脚本处理器即 TSP可让用户编写测试命令序列程序,并独立于执行于PC执行操作系统的执行高速的自动化测试序列。 不同于竞争对手同类的其它产品,其缺乏根本不具备这种测试排序列能力或仅能将指令排成队序列列来并执行这些指令,而TSP具有直观智能化工作(intuitive intelligence)的特点,可使2600序列系列仪器在TSP处理器的控制下而不是单独PC控制下工作,相当于完整测量自动化解决方案的一个独立子系统来进行作为元器件测试的一个完整的测量自动化解决方案,而竞争对手的产品则缺乏这种测试排序能力或仅能将指令排成队列并执行这些指令。 2600系列系统源表该仪器可以控制1至16个SMU通道上的纯供电源纯化、测量、通过成功/失效败(pass/fail)判决断、测试试验顺序列流程控制、元器件重新分级筛选以及数据存储等。通过一些实际 在应用中,所做的测试比对,发现显示该2600系列仪器与同类竞争对手的产品的相比,其测量速度、系统吞吐信息通过量都快很多是竞争对手产品(的2~4倍),这些应用测试包括三端元器件器件测试、并行元器件测试、光电器件L-I-V扫描以及二端元器件器件测试。 

灵活的触发和测试序列流程控制能力使得TSP可通过数字I/O和RS-232端口控制其它仪器、元器件筛选、机械元件手处理器或探针台测器。 TSP具有无与伦比的仪器自动化控制能力,可获得高达10倍传统产品的测试信息通过量。 

2600系列数字系统源表仪器配备有Test Script Builder开发软件,其简单的图形用户界面(graphical user interface,GUI)简洁易用,可使用户能够轻松自由地开发、修改以及和调试高速TSP程序。 每台装置也都具有内置预写入TSP程序套件的特征,用户可为专门特定应用而快速修改这些程序,可减少75%的软件开发时间。 此外,适用于2400/2600系列数字系统源表仪器的LabTracer™ 2.0软件能使用户在实验室或半导体器件特性测试化应用中顺利地进行仪器控制、数据采集以及图形显示、曲线跟踪等。 

2600系列系统源表仪器的报价如下:单通道2601型的起价为5495美元。 双通道2602型的报价为7995美元。

第二款产品引进了用于半导体生产过程中参数生产过程控制测试的第三代圆片晶圆射频 (RF) 测量功能力。 吉时利公司第三代射频 (RF) 参数测量系统RF选件解决方案(是一个选配件),能提供连续、自动、实时的测试量质量监控,在在提供最高优等超等质量结果的同时,也获得了最高测量信息吞吐产能通过率量、最低运行成本。此外,吉时利公司的射频 (RF) 参数测量系统选项RF选件测量功能力(系统)是目前唯一一个在全球范围内获得验证的半导体参数测试系统,适合于世界范围内200mm和300mm晶圆的制造工厂的半导体参数射频 (RF)测试系统生产实验室进行应用参数工艺控制的测试系统,这些应适用于用包括高性能逻辑电路生产和高性能模拟集成电路生产。 


自动连续的测量完整性监控原理是:测试机台仪自动检测事件,判断该事件是否会否使导致射频 (RF) RF定标校准无效,并自动触发校正动作作用,如无人值守的自动再标定校准功能。一些 系统配置方面的改变,如改变探针卡板,都可被设置用来触发一个无人值守的自动再校准功能标定。 这些事件也还包括基于时间的触发事件,如到期的射频 (RF) RF定标校准,。 最终的触发事件类级别是可基于测量得出的基础。 例如,当探测器正在检索至下一个现场时,在后台,测试仪将自动核实检验探针触头的质量,如需要,并还可触发自动探针清洗,如果需要的话。 

较高的测量完整性使用户无需请射频 (RF) 的RF专家人工检查原始数据曲线的异常情况的异常情况,这些,因为异常情况将将认为该测量为不可靠会对可疑的的射频 (RF) RF测量结果进行提示。 较高的测量完整性也剔除避免了再探测和再加工的高成本,使得它在操作上与符合高效务实的300mm实验室的要求兼容。 

吉时利公司的射频 (RF) RF选件具有和S680型SimulTest选件、以及专门设计恰当的测试结构和探针板卡,是市场上所销售的唯一的一个射频 (RF) RF测试系统,可在同一次探针touchdown中并行进行同步直流 (DC) 和射频 (RF) 测量。可在相同的探针触地范围内并行进行同步直流 (DC) 和射频 (RF) RF测量。 这实质上获得了比类似方法(执行顺序的直流 (DC) 测量,然后再进行RF测量)更高得多的通过测试吞吐量,这些类似方法执行顺序的DC测量,然后再进行RF测量。 此外,可以利用行业最大的射频 (RF) RF参数提取程序库从已测量的s-参数中,第一次实时提取和反嵌入射频 (RF) RF参数,并且现在首次实现了反嵌入,整个过程无需后处理,节省了时间,提高了信息通过量吞吐量。 

此外,综合结合S680型参数测试系统来看之后,只有吉时利公司具备了40GHz频率测量过程中的DC-RF 同驻功能直接驻泊(direct-dock)能力。 竞争其它对手的产品往往要求射频 (RF) RF专家采用扭矩扳手手动改变更换探针板探针卡,然后再进行是手动再标定再校准。 而吉时利公司的射频 (RF) RF选件解决方案将自动改变更换射频 (RF) RF探针板探针卡,所用时间仅为手动调整时的很一小部分,提高了总信息通过量吞吐量。 在射频 (RF) RF测量结果结果中,自动化换卡功能同时也增加了测试的完整性,因为它消除了导致系统-与-系统之间数据不匹配的最主要的因素,即人为因素自动探针板的自动改变更换也通过消除了在系统-至-系统的变化中由人为干预而导致的重大可变性,提供增加了测量完整性,。 同时,因为不再需要射频 (RF) RF专家在现场进行维护和技术支持,所以降低了运行成本。 自动探针板探针卡改变更换功能力是吉时利公司射频 (RF) RF选件解决方案的一大新的特性。 

吉时利第三代射频 (RF) 选件测量功能力可以直接用于工厂发货的S680和S470两种新型号的系统。也可以对过去15年内已经安装的现有S600和S400系列型号进行现场改造,将其作为吉时利承诺承诺不断为客户提供产业顶行业领先的重要资本设备的重新利用的的承诺的承诺的一部分,对过去15年内已经安装的现有S600和S400系列型号进行现场改造。 

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