Entegris：半导体先进制程临近极限，材料创新日益重要

据美国半导体行业协会(SIA)数据统计，全球半导体行业2017年的销售总额达到了4122亿美元，这是该行业有史以来的最高销售额。对比2016年数据，全球半导体产业在2016年营收达到3389亿美元，同比增长了21.6%，创下有史以来最高年营收纪录。

2017年，有几个半导体产品类别脱颖而出。内存是销量最大的半导体类别，2017年销售额为1,240亿美元，增长最快，销售额增长61.5%。2017年其他快速增长的产品类别包括整流器(18.3%)，二极管(16.4%)以及传感器和执行器(16.2%)。即使没有内存产品的销售，2017年所有其他产品的销售总量也增长近10%。

我们知道内存的增长主要是由于需求的转变。以前，我们的计算系统以CPU为核心，加上DRAM、硬盘、接口组成。而在当今大数据时代，数据成了中心，计算系统变成以Memory为核心+多个CPU的架构。这样就造成了Memory需求暴增的结果。所以说，并不是三星、美光这些存储器厂商产量减少了，而是需求真的在暴增。

物联网及自动驾驶在全球蓬勃发展，中国的互联网经济如火如荼，业界对存储等半导体的需求不仅仅体现在数量上，更对电子元件的技术性能提出了更高的要求。去年中国半导体市场增长了22.2%，仅次于美洲35.0%，相比于亚太地区/所有其他(16.4%)和日本(13.3%)更是大大提升。一方面，由于中国政府成立的中国集成电路产业投资基金，大力推进本地制造。另一方面，中国作为世界上最大半导体的市场，对于整个行业产生了巨大的需求。

基于上述因素，2017年中国开建的晶圆厂数量创历史新高，这一趋势预计有望延续至2018和2019年。Fab建好了下一步将解决材料问题。

在本次的SEMICON China展上，世界著名的半导体材料厂商Entergris公司发布了2018年中国战略。Entegris在中国的战略重点包括：助力新晶圆厂的建设，继续推进材料生产本地化，并加强实验室支持、人才培养等一系列本地化基建工作。

“对半导体制造商而言，设备的提升空间已经临近极限，他们将日益依赖材料实现创新。即使对主流应用来说，随着应用中嵌入更多电子元件，要提升器件可靠性，污染控制则日益重要，成为整个行业发展的关键。无论是最前沿的应用还是主流应用，要应对上述挑战，都必须仰仗于材料及其发展。”Entegris市场战略副总裁杨文革先生表示。

Entegris市场战略副总裁杨文革先生

Entegris产品主要包括这几方面：3D NAND闪存，先进晶圆处理方案，光刻法，湿法蚀刻和清洗，化学机械研磨(CMP)和注入、沉积涂层技术。

3D NAND闪存产品包括AICI3沉积材料用于深度填充，特别配置的湿法蚀刻化学品等;污染控制包括，ProE-Vap®输送系统，SpectraTM EBM FOUP，Protego® Plus IPA纯化器，IntelliGen® HV喷胶系统，BrightPak® 瓶，酸与碱过滤，光阻剂和溶剂过滤与纯化，Gatekeeper® GPS气体纯化系统等。

先进晶圆处理方案包括A300前开口一体盒(FOUP)EBM先进节点，成熟的性能和最佳自动化集成，可提高良率，灵活的薄晶圆FOUP针对不同晶圆厚度和容量保护薄至50nm晶圆;多功能晶圆运输和存储解决方案，薄膜框架运输盒，SmartStack® 无触点水平晶圆运输盒，300mm前开口运输盒(FOSB)，Stat-Pro® 9000先进晶圆运输盒。

光刻法产品包括PurasolTM溶剂过滤器，EUV光罩盒，OKtolexTM薄膜技术，IntelliGen® ULV喷胶系统，GataKeeper®GPS气体纯化系统，NOWPak®瓶装系统，MicrogardTMUC大宗光刻化学过滤器。

流体解决方案包括FluoroLine®ESD软管，PureLine WS阀，气动操作1½和2″PFA阀，PrimeLock®接头，PrimeLock螺母锁定装置等。

湿法蚀刻和清洗产品包括Guardian®PS 1nm弱酸弱碱过滤器，Torrento®X系列强酸强碱过滤器，TitanKlean®清洗解决方案等。

化学机械研磨(CMP)产品有SpectraTMEBM先进节点FOUP，Planarcore®PVA清洗刷，InVue®集成流量控制器等。

注入、沉积和涂层技术包括ProE-Vap®固体源蒸发器，ViaForm®Omega先进的镀铜技术，PegasusTM500和100系列专利涂层，CaerusTM100系列涂层等。

Entegris亚太全球销售副总裁兼中国区总经理李迈北先生告诉21ic记者，Entegris拥有50多年的材料与污染控制专长，可以帮助客户以更快的速度、更低的成本完成新晶圆厂建设，并优化产线尽快投产。Entegris在中国的本土团队正在不断壮大，这支由资深工程师、技术人员和科学家组成的Entegris本土团队，将继续与中国半导体厂商讨论和制订技术路线图，共同开发量身定制的解决方案。

Entegris亚太全球销售副总裁兼中国区总经理李迈北先生

关于未来

2017年Entegris在全球取得了巨大成功，而且在中国市场的收入增长率几乎是全球的两倍。Entegris旨在成为中国市场的首选供应商，目前正积极拓展在中国市场的足迹，增强技术能力，更好的帮助中国半导体制造行业崛起。未来，Entegris将把战略重点放在支持中国新晶圆厂的建设、继续推进材料本地化、改善基础设施这三方面，并在2018年继续领跑全球市场。