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[导读]全球能够独立研发制造光刻机的厂商仅有4家,荷兰的ASML、日本的尼康、佳能,还有国内的上海微电子。数据显示,上海微电子拿下了国内八成以上的光刻机订单,即便是封装光刻机方面,上海微电子也拿下了全球四成的市场。然而,近日有消息称,国内厂商采购光刻机等相关设备,结果国产光刻机再次碰壁,一台都没中,ASML全获中企光刻机新订单。消息称,上海积塔半导体公布了光刻机等设备采购招标信息,从公布的结果来看,国内半导体企业方华创、芯源微等皆中标。唯独在光刻机这一块,ASML悉数拿下3台订单,国产光刻机一台都没中!

全球能够独立研发制造光刻机的厂商仅有4家,荷兰的ASML、日本的尼康、佳能,还有国内的上海微电子。数据显示,上海微电子拿下了国内八成以上的光刻机订单,即便是封装光刻机方面,上海微电子也拿下了全球四成的市场。然而,近日有消息称,国内厂商采购光刻机等相关设备,结果国产光刻机再次碰壁,一台都没中,ASML全获中企光刻机新订单。消息称,上海积塔半导体公布了光刻机等设备采购招标信息,从公布的结果来看,国内半导体企业方华创、芯源微等皆中标。唯独在光刻机这一块,ASML悉数拿下3台订单,国产光刻机一台都没中!

据了解,上海积塔半导体采购都是ArF、KrF、i-line系列光源光刻机,而这类光刻机技术早已经被上海微电子突破,并非不能生产制造。毕竟,上述几种光刻机设备并非先进设备,而先进的光刻机只有DUV光刻机和EUV光刻机,这两种光刻机目前可以说仅有ASML能够生产制造。

上海微电子装备有限公司坐落于张江高科技园区内,邻近国家集成电路产业基地、国家半导体照明产业基地和国家863信息安全成果产业化(东部)基地等多个国家级基地。公司成立于2002年,主要致力于大规模工业生产的投影光刻机研发、生产、销售与服务,公司产品可广泛应用于IC制造与先进封装、MEMS、TSV/3D、TFT-OLED等制造领域。2022年2月7日,上海微电子举行首台 2.5D / 3D 先进封装光刻机发运仪式,这标志着中国首台 2.5D / 3D 先进封装光刻机正式交付客户。

记得曾经,台积电有位“砖家”表示,芯片生产可以不使用光刻机。确实,这个理想真的很美好,但是现实也真的很残酷,至少当下甚至未来很长一段时间,芯片的生产是离不开光刻机设备的。如今,芯片日益在国际舞台上大放异彩,光刻机的重要性也是水涨船高,但是,因为美国人为地进行规则的修改,在光刻机获取方面,我国受到了限制,阿斯麦尔无法再对我国实现自由出货。

相关外媒表示要重视我国光刻机了,这究竟是事实,还是捧杀呢?应该是基于事实的。阿斯麦尔为何能稳坐全球光刻机垄断巨头的位置,其实就是因为阿斯麦尔不断在全新的光源和物镜上面取得突破,从而保持了自身的市场竞争力。在这两个核心方面,我国其实发展也是比较迅速的。2022年3月7日,北京市公共资源交易服务平台日前公开了一份有关我国国望光学的《投影光刻机曝光光学系统研发及批量生产基地项目洁净工程中标候选人公示》。从中不难看出,如今在光学物镜方面,我国的国望光学已经进入了设备采购阶段

据路透社报道,半导体设备巨头ASML的新一代High-NA EUV设备订价约4亿美元,折合27亿人民币。据悉该设备精密度更高、所使用的零部件更多,机型比上一代大出30%,大小如同双层巴士。为克服技术挑战,ASML正与全球最大的微电子研发机构IMEC共同建立测试实验室。据悉,ASML原型机将在2023年上半年完成。

目前的光刻机市场几乎已被ASML垄断,在拥有垄断地位的情况下,ASML如何定价就可以随心所欲,正因此ASML可以将EUV光刻机定出天价,台积电等芯片制造企业也只能接受。台积电、三星等计划在今年下半年量产3nm工艺,目前它们所采用的EUV光刻机为第一代,据称第一代EUV光刻机生产3nm已几乎达到极限,它们研发更先进的2nm乃至更先进的工艺就需要采用ASML最新的High-NAEUV光刻机。值得注意的是早前Intel和台积电已组建了chiplet联盟,希望通过封装技术的变革提供更强的性能,而不是继续推进先进工艺的研发,其中台积电以自研的封装技术3DWOW为英国一家公司生产了Al芯片,接着苹果也以特殊的联结方式将两颗M1芯片组合在一起,都大幅提升了性能,如此芯片制造企业就有可能无需继续推进先进工艺研发,这对ASML来说显然不是好消息。

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