什么是光刻机？它在应用时的基本原理是什么？
光刻机的主要性能指标有：支持基片的尺寸范围，分辨率、对准精度、曝光方式、光源波长、光强均匀性、生产效率等。-
什么是光刻机？它在应用时的基本原理是什么？
光刻机(Lithography)是一种常见的微电子制造技术，用来在半导体片表面制造电路图案。光刻机利用特殊的光学技术从导入的制图数据生成微小的图案，并将它们印制到半导体片上。目前，光刻机是制造集...
2023-08-26 15:40:01 -
总投资130亿元！江苏一芯片厂进入破产清算，二手ASML光刻机拍卖无人问津
...光刻机进行了公开拍卖。但因缺少潜在买家，该设备的拍卖信息目前已被撤回。图片来源：全国企业破产重整案件信息网图片来源：江苏省淮安市淮阴区人民法院淘宝网司法拍卖网络平台根据官网介...
2023-08-30 08:39:44 -
光刻机的国内外发展现状如何？在技术上存在哪些差距？
...光刻机行业一直处于发展的起步阶段，尽管在技术上积累了大量的经验，已经能够制作出14纳米左右的芯片，但是相对国外的工艺而言，这还有很大的差距，面临着重重挑战。目前，中国的光刻机...
2023-08-27 09:00:01 -
日本光刻机彻底没落！尼康二季度只卖了6台
...光刻机大厂尼康于8月8日盘后公布了今年二季度(2023年4-6月)财报。虽然中高端数字相机销售强劲、出货量增加，但是由于光刻机销售量萎缩，导致合并营收虽然较去年同期增长了8....
2023-08-11 12:49:36 -
光刻机的工艺流程是怎样的？设备的售价如何？
...光刻机是现代集成电路制造过程中不可或缺的关键设备之一，它在半导体工艺中起着至关重要的作用。本文将详细介绍光刻机的工艺流程以及设备的售价。光刻技术是一种通过使用光学投影系统将芯...
2023-08-08 10:50:05 -
ASML狂赚500多亿：“多余”的光刻机全都卖到了中国
...光刻机巨头阿斯麦（ASML）发布了2023年第二季度财报。2023年第二季度，ASML实现了净销售额69亿欧元（约合人民币555亿元），同比增长27%；净利润达19亿欧元（约...
2023-07-20 19:53:25 -
ASML否认特供版DUV：没有面向中国推出特别版光刻机
...光刻机，不过此事已经辟谣，ASML表示一直以来ASML都遵守所适用的法律条例，公司并没有面向中国市场推出特别版的光刻机。此前消息称，ASML推出的特别版DUV光刻机基于Twi...
2023-07-07 13:12:18 -
ASML：支持7nm高端DUV光刻机仍可出口
...光刻机产品共有三款，分别是：TWINSCANNXT:1980Di、TWINSCANNXT:2000i、TWINSCANNXT:2050i。阿斯麦3月曾表示，预计2000i和2...
2023-07-05 12:53:51 -
ASML确认！荷兰管制新规将影响这几种型号光刻机出口
...光刻机巨头ASML可以在此日期之前开始提交出口许可证申请，而荷兰政府将会根据具体情况批准或拒绝这些申请。▲荷兰升级管制新规在荷兰政府限制出口的消息传出之后，ASML第一时间在...
2023-07-02 22:07:08 -
ASML合作IMEC：共同加速推进新一代光刻机
...光刻机大厂ASML高管对外表示，半导体业只有通力合作，建立完全自主的产业链，即使并非不可能也会极其困难。
2023-06-30 12:53:32 -
ASML下代EUV光刻机年底问世：1nm工艺
...光刻机是少不了的关键设备，目前只有ASML能制造，单台售价10亿人民币，今年底还会迎来下一代EUV光刻机，价格也会大涨。光刻机的分辨率越高，越有利于制造更小的晶体管，而分辨率...
2023-06-19 12:57:54 -
光刻机将成为历史！麻省理工华裔研究出 2D 晶体管，轻松突破 1nm 工艺！
...光刻机作为芯片生产过程中的最主要的设备之一，其重要性不言而喻。先进的制程工艺完全依赖于先进的光刻机设备，比如现阶段台积电最先进的第二代3nm工艺，离不开EUV光刻机。然而，前...
2023-05-29 10:00:16 -
ASML加快拓展中国业务：支持7nm高端DUV光刻机可出口
...光刻机，属于193nm(光源)光刻机(分为干式和浸没式)，可以被用于16nm至7nm先进制程芯片的制造，但是目前也有被业界广泛应用在45nm及以下的成熟制程当中。ASML公司...
2023-04-28 12:59:44 -
台积电发布Q1季度财报：EUV光刻机日耗电3万度
...光刻机，新一代的EUV光刻机更是夸张，功率达到了100万瓦，是上一代的10倍左右，每天耗电3万度，而台积电去年就差不多80台EUV光刻机了，耗电量可想而知。据统计，台积电20...
2023-04-23 13:06:17 -
ASML加大中国市场开拓：7nm高端DUV光刻机可出口
...光刻机，属于193nm(光源)光刻机(分为干式和浸没式)，可以被用于16nm至7nm先进制程芯片的制造，但是目前也有被业界广泛应用在45nm及以下的成熟制程当中。ASML公司...
2023-04-18 12:39:37 -
EUV光刻机也卖不动了 台积电40%订单被砍
...光刻机也卖不动了，台积电被曝砍单40%订单。EUV光刻机是7nm以下工艺必不可少的核心设备，全球只有荷兰ASML公司能够生产，售价高达10亿，下一代EUV光刻机会更会涨价到2...
2023-04-18 12:33:37 -
别再只盯着光刻机了!自动化测试对于芯片制造同样重要
...光刻机在芯片领域当然独占鳌头，但一颗芯片的成功不只取决于光刻部分，测试对芯片的质量更有不容忽视的意义。不论是更小尺寸的芯片，还是时下火热的chiplet方式的芯片，都对于芯片...
2023-04-12 16:06:19 -
ASML高端DUV光刻机可以出口：支持7nm
...光刻机，属于193nm(光源)光刻机(分为干式和浸没式)，可以被用于16nm至7nm先进制程芯片的制造，但是目前也有被业界广泛应用在45nm及以下的成熟制程当中。ASML公司...
2023-03-10 11:13:26 -
ASML回应荷兰半导体出口管制新规：涉及DUV光刻机
...光刻机巨头阿斯麦(ASML)发布声明表示，ASML预计必须申请许可证方可出口DUV设备。同时公司还表示“新的出口管制措施并不针对所有浸润式光刻系统，先进程度相对较低的浸润式光...
2023-03-09 13:23:59 -
全球只有5家客户 ASML今年将出货60台EUV光刻机
...光刻机的需求也不断增长，目前全球只有ASML一家公司能够生产EUV光刻机，今年的出货量还会进一步提升。当然，EUV这样的光刻机主要用于先进工艺，所以全球有需求也有能力购买EU...
2023-02-22 12:57:58 -
一场“国产光刻机”的奇葩说
...光刻机到底牛不牛”的辩题，那到底会是怎样的场景和结局.辩题背景：中科院光电所超分辨光刻装备项目组经过近7年艰苦攻关，突破了多项关键技术，完成国际上首台分辨力最高的紫外超分辨光...
2022-12-29 15:22:37 -
生产最新12nm芯片，三星逆势计划新增10台EUV光刻机
...光刻机，用于生产最新的12nm级内存芯片。三星在韩国的内存工厂主要是位于平泽市的晶圆厂，其中P3晶圆厂目前的产能是每月2万片晶圆，三星已经计划扩大投资，增加内存生产设备，将产...
2022-12-27 12:24:54 -
日本研发新一代光刻机,佳能3.6亿美元东京建厂
...光刻机，还将用于增加纳米压印光刻(NIL)机的产量。计划于2025年开始运营。KrF和i-line光刻是成熟的技术，但它们仍被广泛用于定义众多IC类型、MEMS和平板显示器。...
2022-12-13 11:21:50 -
高端市场要变天?佳能宣布发售新一代i线步进式光刻机
...光刻机新产品——i线步进式光刻机“FPA-5520iVLF2Option”。据了解，在半导体芯片的制造工艺中，光刻机负责“曝光”电路图案。在曝光的一系列工艺中，在硅晶圆上制造...
2022-12-08 10:51:12 -
ASML新EUV光刻机惊人天价，年产能20台左右
...光刻机high-NAEUV设备，而高NAEUV光刻机系统的单台造价将在25亿元(单台造价在3亿到3.5亿欧元之间，约合人民币21.95到25.61亿元)。这个价格什么概念，资...
2022-11-28 11:02:15 -
首台ASML光刻机搬入！中国再添一座12英寸车规级晶圆厂
...光刻机制造商阿斯麦（ASML）禁止向我国出售14nm及以下工艺的DUV光刻机，还一直试图要求该公司禁止对华销售部分旧款光刻机，以及所有制造芯片所需的主流技术。要知道，目前全球...
2022-11-28 09:32:34 -
禁止向中国出口光刻机！华盛顿谈判施压荷兰，首相表态
...光刻机贸易就受到了一些限制，但近日华盛顿当局将从光刻机领域寻求对华的进一步技术封锁。我们之前在《多次反对芯片制裁，ASML直接无视美国和中国合作》一文中介绍了目前ASML和中...
2022-11-07 12:03:47 -
俄罗斯放狠话：自研7nm光刻机将于2028年问世！
...光刻机将于2028年问世，不仅能够生产出7nm芯片，还可以击败ASML同类产品”。根据俄罗斯下诺夫哥罗德策略发展机构的一份公文显示，该计划将在6年内分为三个阶段实现：●第一阶...
2022-10-24 19:30:29 -
无需EUV光刻机 我国首条光子芯片产线明年建成：1000倍性能提升
...光刻机，比如EUV光刻机，因此是各国争相发展的新一代信息科技。来自《北京日报》的消息，记者从中科鑫通获悉，国内首条“多材料、跨尺寸”的光子芯片生产线已...
2022-10-18 14:11:53 -
消费电子砍单潮，台积电将关闭4台EUV光刻机！台积电：维护而已
...光刻机来减少产能。上周，产业链的消息人士@手机晶片达人就爆料称，由于台积电先进制程产能利用率开始下滑，且评估之后下滑时间会持续一段周期，因此，台积电计划从今年年底开始，将关闭...
2022-09-25 09:00:01 -
我国首获纳米级光雕刻三维结构：没有EUV光刻机，一样量产7nm芯片！
...光刻机，甚至还将魔抓伸向了华裔科学家。然而，面对这些“卡脖子”技术问题，中国不仅没有选择屈服，反而走出了一条自己独特的发展之路。这不，刚刚国内自主芯片产业就传来一个好消息：9...
2022-09-16 16:39:03