基本测试配置 图3给出了一种基本的C-V测量配置框图。由于C-V测量实际上是在交流频率下进行的,因此待测器件(DUT)的电容可以根据下列公式计算得到: CDUT = IDUT / 2πfVac,其中 IDUT是通过D
普通测试 电容-电压(C-V)测试广泛用于测量半导体器件,尤其是MOSCAP和MOSFET结构的参数。但是,通过C-V测量还能够对很多其他类型的半导体器件和工艺进行特征分析,包括双极结型晶体管(BJT)、JFET、
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