9月21日,日本爱发科10.5代光罩掩膜版生产基地开工仪式在合肥高新区举行。据介绍,爱发科光罩掩膜版项目总投资5亿元,占地25亩,是全国第一座10.5代光罩掩膜版生产基地。
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