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MEMS是什么？具体有什么用？
MEMS的全称是Micro- Electro Mechanical System，简称为微机电系统，是在芯片上将微机械与微电路包括集微型传感器、执行器、机械结构、电源能源、信号处理、控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等集成一体的微米/纳米级系统。通俗的说，MEMS工艺是通过微型传统机械系统的部件，采用半导体加工技术把微型机械系统与集成电路固定在硅晶圆上，接着按照应用场景的变化采用特殊定制的封装形式，最后经过切割组装形成硅基换能器。
MEMS的全称是Micro- Electro Mechanical System，简称为微机电系统，是在芯片上将微机械与微电路包括集微型传感器、执行器、机械结构、电源能源、信号处理、控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等集成一体的微米/纳米级系统。通俗的说，MEMS工艺是通过微型传统机械系统的部件，采用半导体加工技术把微型机械系统与集成电路固定在硅晶圆上，接着按照应用场景的变化采用特殊定制的封装形式，最后经过切割组装形成硅基换能器。
