3d轮廓测量

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3D轮廓测量中相位解包裹应用

　　在对微/纳机电系统(micro/nano electro me-chanical system，MEMS/NEMS)结构的特性参数进行测量和MEMS/NEMS可靠性进行测试的过程中，常要求对结构表面的三维轮廓、粗糙度、微小的位移和变形等物理量

测试测量
2018-06-13

3d轮廓测量相位解包裹