0 引言硅电容压力传感器是利用硅基材料, 应用电容原理, 采用MEMS 工艺制作的一类新型压力传感器。因其具有稳定性好, 非线性和可靠性优越的性能被广泛用于工业控制和测量
在实验的基础上,提出一种设计差动电容传感器调理电路的新方法,引入AMG公司开发的将电容信号转换成电压信号的集成电路CAV424,以及CAV424在倾角传感器中的应用。另外,结合实例给出系统各部分的详细硬件原理图。
CAV424倾角传感矗的检测系统设计
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