压力传感器(PressureTransducer)是能感受压力信号,并能按照一定的规律将压力信号转换成可用的输出的电信号的器件或装置。压力传感器通常由压力敏感元件和信号处理单元组成。按不同的测试压力类型,压力传感器可分为表压传感器、差压传感器和绝压传感器。
MEMS压力传感器是基于MEMS技术和半导体集成电路制造加工技术,以利用单晶硅硅片等传统半导体材料制作而成的芯片作为主要组成部分,将压强信号转化为电学信号的压力测量器件。MEMS压力传感器可以用类似集成电路(IC)设计技术和制造工艺,进行高精度、低成本的大批量生产,从而为消费电子和工业过程控制产品用低廉的成本大量使用MEMS传感器打开方便之门,使压力控制变得简单易用和智能化。
MEMS,也即微电子机械系统,是现代常用器件之一。对于MEMS,小编在前两篇文章中有所阐述。为增进大家对MEMS的认识,本文将基于两点介绍MEMS:1.什么是MEMS,2.MEMS压力传感器介绍。
意法半导体的 LPS33W防水型MEMS压力传感器集化学兼容性、稳定性和精确性于一身,适合健身追踪器、可穿戴设备、真空吸尘器和通用工业感测等各种应用领域。
意法半导体LPS22HH MEMS压电绝对压力传感器的精确度和稳定性俱佳,设备制造商在焊接后无需执行单点校准(OPC)工序,从而提高产量和效率。