2018年MEMS传感器及执行器的销售额预计将达到127亿美元,同比增长10%,维持了近年来的增长态势。2017年同比增长18%,2016年同比增长15%。
意法半导体(STMicroelectronics,简称ST)推出汽车级六轴惯性传感器ASM330LHH,为先进的车载导航和信息服务系统提供超高分辨率运动跟踪功能。
Mens传感器小科普:mens传感器即微机电系统 是微电路和微机械按功能要求在芯片上的集成,尺寸通常在毫米或微米级。MEMS技术采用了半导体技术中的光刻、腐蚀、薄膜等一系列的现有技术和材料,因此从制造技术本身来讲,MEMS中基本的制造技术是成熟的。但MEMS更侧重于超精密机械加工,并要涉及微电子、材料、力学、化学、机械学诸多学科领域。微机电系统的优点是:体积小、重量轻、功耗低、耐用性好、价格低廉、性能稳定等。