TDI(Time Delay Integration)意思是时间延迟积分,适用于高速移动的物体。TDI是一种扫描方法,与其他视频扫描方法相比,它可以显著提高图像亮度,并且减小了像元之间响应的不均匀性。它可以在弱光下实现更高的扫描速度,或者在常规速度下降低照明水平。多用于晶圆,PCB和LCD面板检查。
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