应用材料公司带来堪比 “时光机器” 的电子束检视技术

今天当你坐在沙发前，享受着大屏高清的时尚大片时，或许还浑然不觉正是显示技术的进步给你带来的视觉盛宴。可以说，正是人们对是视觉官感的要求越来越“刁难”推动着显示技术的发展。显示技术在当前的应用越来越多，从电视上的超薄4K OLED电视和模块化大尺寸屏幕到汽车上的OLED车联网屏幕再到移动设备上的柔性OLED和硬性OLED、OLED笔记本，再到现在火得不行的虚拟现实，显示技术一步步地迈向更高的台阶。

我们可以直观感受到尺寸上的变化：电视从40吋到55吋再到70吋的跃进，手机也从3.5吋到5吋再到5.5吋的发展。在分辨率上也逐渐开始体验着电视从HD到4K再到8K，手机326ppi到600ppi再到未来的700ppi。未来，显示屏幕的形状也越来越多元化，从平板到弯曲到可卷式或许再到折叠式。但身为消费者的我们感受不到的是内部技术是如何变革的，比如薄膜晶体管从当初的非晶硅向低温多晶硅和金属氧化物发展，显示屏幕从LCD屏向OLED或柔性OLED发展。我们也看不到显示材料的进步带来的良率的挑战、更复杂的工艺步骤和柔性底板挑战等，更体会不到为保证显示材料良率而不断改良技术的公司的默默努力，应用材料公司就是其中的一个。

应用材料公司成立于1967年，在全球18个国家和地区设有81个分支机构，业务部门主要有三个：半导体产品事业部、全球服务产品事业部、显示产品及邻近市场事业部。显示产品事业部成立于1991年，凭借着在半导体检视领域拥有的20年领导技术，应用材料公司把半导体检视技术带到显示行业，成为了全球领先的显示设备制造商，致力于创造更薄、更轻、更大、便携和更清晰的显示产品。

2016年11月2日，在北京的媒体见面会上，应用材料公司介绍了用于OLED和高分辨率LCD的高分辨率在线电子束检视系统。电子束检视技术(EBR)是一种非镀膜无损伤的在线扫描电子显微镜解决方案。传统的电子显微镜解决方案(SEM)在检测过程不免会有一些缺陷，如金属/C60镀膜、检视过程需损坏器件、响应时间慢、样本率低和信息流失等。EBR技术能够有效地解决这几个问题，据应用材料公司显示产品事业部良率技术产品部总经理Peter D. Nunan介绍，EBR主要优势为无需镀膜、无损伤检视流程、响应时间迅速、样本率高、信息也得以链接。目前，EBR技术主要应用在工艺和缺陷的检测、构成分析、LTPS颗粒结构和CD测量。

与其他检测技术的对比中可以看出，利用EBR技术后不仅有助于加快学习周期，更能使良率保持稳定。使用EBR技术还能进行整片在线检视，甚至可以保证有机材料无损伤无收缩;还能进行精确的过程检测，如对低温多晶硅(LTPS)的检测中能够检测出包括LTPS颗粒空间数据的高分辨率图像，对图像进行加工以评估LTPS颗粒和突起。还能进行EDX元素成分分析，用于构成和根源分析。

Peter D. Nunan提到，关于EBR具有的低电压带来的“零损伤”的优势，这中间还有个小故事。当初他们把电子束检视技术(EBR)解决方案介绍给客户的时候，应用材料公司承诺说三个月内就能帮助他们明显提高良率，客户不敢相信这是真的。结果三个月后，客户说，应用材料公司“骗”了他们，因为他们用的时间远远小于三个月!

让应用材料公司颇为自豪的是，电子束检视技术(EBR)真的是“时光机器”，它能够为客户节约时间，加快移动设备工厂的产能爬坡速度。对应用材料公司来说，这个速度还不是极限，当被问及下一步更优化的方案时，Peter D. Nunan不假思索地回答到，速度是我们的追求，假如目前一个小时“时光机器”能看到100个缺陷，我们希望几年之后能看到更多，并且我们的“时光机器”还能够更快。