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[导读]前者理论是清楚的,但从器件发展到电路,所需的技术仍处于发展之中,要进入到比较普遍的应用估计仍需一二十年的时间。至于纳米器件,目前多以原子和分子自组装技术与微电子超深亚微米加工技术相结合的方法进行,特别

前者理论是清楚的,但从器件发展到电路,所需的技术仍处于发展之中,要进入到比较普遍的应用估计仍需一二十年的时间。至于纳米器件,目前多以原子和分子自组装技术与微电子超深亚微米加工技术相结合的方法进行,特别是近年来碳纳米管的发展令人注目,在速度、集成度、特别是功耗方面都将有重大突破,但离开实际应用可能比硅基量子器件要更远一些。原文见王阳元院士在“纳米CMOS器件”书中写的序(2004年1月科学出版社出版)。



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