微型LED(μLED)被视为下一代显示技术,其核心制造瓶颈是巨量转移(Mass Transfer)——将数百万颗微米级LED(边长3~100μm)从外延片精准拾取并键合到TFT/CMOS背板上,且要求转移良率>99.999%(单颗坏点容忍度极低)。与之配套的在线检测(AOI + 电学探针 + PL成像)是保证成品率的关键。本文综述主流转移工艺现状与产线检测操作要点。
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