在确定并减小外部误差后,如果可能的话,可将测试系统的内部和外部偏移从将来的测量结果中减去。首先,如上所述,在输入戴有金属帽的情况下对SMU进行自动校准。然后,确定每个SMU至探针的偏移。利用软件
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