从65nm到5nm，中国科技巨头打破垄断，刻蚀机打入台积电生产线
燕东微电子 8 英寸项目1季度可以实现量产
中微5纳米等离子体刻蚀机很棒 但造芯片只是\"配角\"
专家：国产刻蚀机的确水平一流，但不要总“戴高帽”
自主研发！国产刻蚀机入选全球首条5纳米芯片产线
利用 AFM 机械刻蚀技术在OTS自组装单分子膜表面制备纳米图案及其力
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