全球半导体微影技术领导厂商艾司摩尔(ASML)20日宣布,在台积电、英特尔及三星三大晶圆厂力挺下,最先进的极紫外光(EUV)已连续四周平均妥善率逾八成,本季底前将完成三台最新的EUV系统出货。 EUV堪称半导体设备发展以
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