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MEMS传感器可以分成哪些应用类型？
MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。它具有体积小、质量轻、成本低、功耗低、可靠性高、技术附加值高，适于批量化生产、易于集成和实现智能化等特点。MEMS传感器技术是指用微电子微机械加工出来的、用敏感元件如电容、
MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。它具有体积小、质量轻、成本低、功耗低、可靠性高、技术附加值高，适于批量化生产、易于集成和实现智能化等特点。MEMS传感器技术是指用微电子微机械加工出来的、用敏感元件如电容、
