氦气检漏仪的工作原理 主要有离子源、分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计组成. 离子源是气体电离,形成一束具有特定能量的离子. 分析器是一个均匀的磁场空间,不同离子的质荷比不同; 在磁场中就会按
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