氯硅烷

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西门子法的工艺流程

改良西门子法生产多晶硅工艺设计中大致细分为以下几个工序：H2制备与净化、HCl合成、SiHCl3合成、合成气干法分离、氯硅烷分离提纯、SiHCl3氢还原、还原尾气干法分离、SiCl4氢化、氢化气干法分离、硅芯制备及产品整理、废气及残液处理等。

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2021-12-01

西门子法多晶硅氯硅烷