电子能谱仪

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电子能谱仪的主要构造部分

电子能谱仪的主要构造部分电子能谱仪通常由激发源（X射线枪和电子枪）、离子枪、样品室、电子能量分析器、检测器和真空系统组成。XPS的激发源为X射线枪，AES的激发源为电子枪，除此之外其它部分相同。样品室样品

测试测量
2018-08-16

电子能谱仪主要构造