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纳米级表面粗糙度测量：白光干涉仪的环境振动补偿技术
白光干涉仪通过分析干涉条纹的变化来测量表面高度信息。当存在环境振动时，干涉仪的光学元件和被测样品会发生微小位移，使得干涉条纹的相位和强度发生变化。这种变化会干扰正常的测量信号，导致测量结果出现偏差。特别是在纳米级测量中，微小的振动都可能引起较大的测量误差。
白光干涉仪通过分析干涉条纹的变化来测量表面高度信息。当存在环境振动时，干涉仪的光学元件和被测样品会发生微小位移，使得干涉条纹的相位和强度发生变化。这种变化会干扰正常的测量信号，导致测量结果出现偏差。特别是在纳米级测量中，微小的振动都可能引起较大的测量误差。
