离子加速

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芯片制造关键，国产高能离子注入机成功实现百万电子伏特高能离子加速

6月30日消息新华社报道，中国电子科技集团宣布，由该集团旗下电科装备自主研制的高能离子注入机成功实现百万电子伏特高能离子加速，性能达到国际先进水平。获悉，离子注入机是芯片制造中的关键装备。在芯片制造

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2020-07-16

离子注入机离子加速