摘要:离子渗氮工艺对炉体内压强的控制要求比较高,本文设计了一种基于L298N芯片驱动直流电动机控制的气体流量控制器,可用于控制反应炉的抽气气体流量,提高了炉体压强控制精度,降低了生产成本。
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