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超表面激光加工系统：多焦点并行控制与工艺参数闭环优化的路径规划算法
在精密制造领域，超表面激光加工技术凭借其亚波长级结构加工能力，已成为微纳光学、量子器件等领域的核心工艺。然而，传统单焦点加工效率低、热效应累积等问题，制约了其产业化进程。近年来，多焦点并行控制与工艺参数闭环优化的路径规划算法，为超表面激光加工系统提供了突破性解决方案。
在精密制造领域，超表面激光加工技术凭借其亚波长级结构加工能力，已成为微纳光学、量子器件等领域的核心工艺。然而，传统单焦点加工效率低、热效应累积等问题，制约了其产业化进程。近年来，多焦点并行控制与工艺参数闭环优化的路径规划算法，为超表面激光加工系统提供了突破性解决方案。
