采用微机电系统 (MEMS) 的惯性测量单元 (IMU) ,其定义就是一种系统级封装芯片 (SiP) 。 其中包含一个加速仪机械感测组件、一个陀螺仪机械感测组件,还有一个能把加速和角速度转换成可读取格式的电子电路系统(也就是所谓的「脑部」)。 MEMS惯性测量单元已经发展了几十年,已应用于部分利基市场。 不过一直要到MEMS技术达到一定成熟度,能支持低成本小型装置,这类惯性测量单元广泛建置在各种应用的情况才得以大幅增加。
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