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超表面激光并行加工系统：工艺参数闭环优化与路径规划算法的轨迹精度控制
在先进制造领域，超表面激光并行加工技术凭借其超分辨加工能力和多焦点并行处理优势，成为微纳结构制造的核心手段。然而，加工过程中热累积效应、材料非线性响应及光场动态干扰等因素，导致实际加工轨迹与理论设计存在显著偏差。为此，结合工艺参数闭环优化与路径规划算法的轨迹精度控制技术，成为突破加工极限的关键。
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超表面激光加工系统：多焦点并行控制与工艺参数闭环优化的路径规划算法
在精密制造领域，超表面激光加工技术凭借其亚波长级结构加工能力，已成为微纳光学、量子器件等领域的核心工艺。然而，传统单焦点加工效率低、热效应累积等问题，制约了其产业化进程。近年来，多焦点并行控制与工艺参数闭环优化的路径规划算法，为超表面激光加工系统提供了突破性解决方案。
