基于MEMS的陀螺仪,是利用科里利奥力,对MEMS内部施加一个X方向的激励信号,当质量块相对于震荡的系统产生Z轴方向的旋转运动时,由于Y方向的科里利奥力,质量块就产生Y方向的运动,通过计算电容的变化,就可以计算出对应的角加速度值。
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