开展静电探针自动测量技术的研究开发工作，对提高等离子体应用研究工作的效率具有一定的促进作用。本文介绍的自动测量系统是以单片机为核心，采用A/D和D/A技术，能够快速、准确地给出静电探针I-V特性曲线。
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