在当前工业4.0与智能制造蓬勃发展的背景下,设备状态监测与故障预测已成为保障生产安全、提升运行效率的核心环节。高频振动监测作为设备健康评估的关键技术,其精度与实时性直接影响着维护决策的可靠性。MEMS(微机电系统)传感器凭借微型化、集成化、高灵敏度等优势,在高频振动监测领域展现出独特的技术价值。本文将围绕MEMS传感器在高频振动监测中的关键技术展开深入研究,探讨其技术原理、性能优化及行业应用。
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