-
新研发CFD技术锁定32奈米以下前段制程应用
诺发系统(Novellus)宣布已经开发 conformal film deposition (CFD)技术，可在高宽比4:1的结构上有100%的阶梯覆盖能力。这项创新的 CFD 技术可以提供 32奈米以下在前段制程的需求，例如 gate liners、spacers、shal
诺发系统(Novellus)宣布已经开发 conformal film deposition (CFD)技术，可在高宽比4:1的结构上有100%的阶梯覆盖能力。这项创新的 CFD 技术可以提供 32奈米以下在前段制程的需求，例如 gate liners、spacers、shal
