集成电路生产制造需要经过上百道主要工序。其技术范围覆盖了从微观到宏观的全尺度,地球上诸多先进的技术在集成电路行业中得到了淋漓尽致的体现。由于集成电路制造的精密性以及对成本和利润的追求,为了保证芯片的质量,需要在整个生产过程中对生产过程及时地进行监测,为此,几乎每一步主要工艺完成后,都要对芯片进行相关的工艺参数监测,以保证产品质量的可控性。
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