美国伦斯勒理工学院最近开发出一种新式液体镜头，能通过超小型的微流体活塞、以电气方式调整焦距，不须外加零件。此前，液体镜头已经被应用在浸没式光刻设备，用以提升光刻分辨率，使得目前的CMOS工艺得以继续向90纳
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