MEMS(微机电系统)加速度计作为一种重要的传感器,广泛应用于消费电子、汽车安全、工业控制等领域。其模拟前端设计是决定加速度计性能的关键环节,负责将微弱的机械信号转换为可处理的电信号,并进行数字化处理。本文将详细介绍MEMS加速度计模拟前端从电荷放大到Σ - Δ调制的设计过程。
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