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上海新阳：ARF193nm光刻胶转入产业研发，配套光刻机12月到货

12月2日，上海新阳在互动平台表示，公司用于KRF248nm光刻胶配套的光刻机已完成厂内安装开始调试，ARF193nm光刻胶配套的光刻机预计12月底到货。上海新阳表示，ARF193nm光刻胶是芯片制造

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2019-12-27

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