-
什么是光刻机？它的基本原理是什么？
光刻机(Mask Aligner) 又名:掩模对准曝光机、曝光系统、光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻，所以叫 Mask Alignment System。
-
KLA-Tencor发布VoyagerTM 1015和Surfscan® SP7缺陷检测系统： 解决工艺和设备监控中的两个关键挑战
日前，KLA-Tencor公司宣布推出两款全新缺陷检测产品，在硅晶圆和芯片制造领域中针对先进技术节点的逻辑和内存元件，为设备和工艺监控解决两项关键挑战。
