摘要:根据系统需求以及半导体制冷器的原理,对TCU半导体制冷器模块进行了分析设计计算。TCU半导体制冷器一般精度系列的温控精度在±0.05~±0.2℃之间,主要用来对电机循环水进行温度控制:高精度系列的温控精度为±0.01℃,主要用来对物镜循环水进行温度控制。
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