在科学技术高度发达的今天,各种各样的高科技出现在我们的生活中,为我们的生活带来便利,那么你知道这些高科技可能会含有的mems传感器吗?
引 言微机械加速度传感器是一种典型的微机电系统(microelectromechanical system,MEMS),在航空、航天、汽车等领域已得到了越来越广泛的应用,但基于MEMS微加速度传感器技术的无线输入设备的研究和应用还不是很多
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