国家知识产权局专利复审委员会(以下简称“专利复审委”)于1月23日作出审查决定书,认定美国维易科精密仪器有限公司(以下简称“Veeco美国”)的第ZL 01822507.1号、名称为“通过化学汽相沉积在晶片上生长外延层的无基座式反应器”的发明专利的全部权利要求因不具有新颖性和创造性而无效。
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