晶圆托盘

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Galaxy薄晶圆系统提高大批量制造超薄晶圆的处理能力

Galaxy薄晶圆系统的杰出工艺能力核心是专业设计的晶圆托盘，提供输送和加工75微米薄晶圆时正确固定晶圆所需的支撑和稳定性。约400毫米见方的得可晶圆托盘，平整度小于10微米

功率器件
2018-10-03

电源技术解析 galaxy薄晶圆系统晶圆托盘