50nm

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南大光电国产高端光刻胶通过认证用于50nm工艺

4月10日消息，南大广电在互动平台表示，该公司自主研发的高端ArF光刻胶已经通过了客户认证，并少量销售。

通信先锋
2023-04-11

南大光电 50nm 光刻机