5nm刻蚀机

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国产5nm刻蚀机通过验证，将用于台积电5nm芯片制造

台积电对外宣布，将在2019年第二季度进行5nm制程风险试产，预计2020年量产。与此同时，中微半导体也透露了一个重磅消息，其自主研发的5nm等离子体刻蚀机经台积电验证，性能优良，将用于全球首条5nm制程生产线。

半导体
2018-12-18

台积电 5nm刻蚀机 5nm芯片