EUV光刻工艺除了需要EUV光刻机之外,也需要配套的EUV光刻胶,目前这一市场也主要被日本厂商垄断,现在三星与韩国半导体厂商东进合作开发成功EUV光刻胶,已经通过验证。
北京时间8日消息,日本周四批准对韩国出口EUV光刻胶,这是自7月以来日本首次批准对韩出口高科技材料。 日本经济产业省大臣世耕弘成在新闻发布会上表示,日本通常不会每次宣布批准出口,这一次这样做,是因为韩
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