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复享光学承担的上海市2022年度“科技创新行动计划” - 0909
本次复享光学承担的项目，属于“科学仪器研制开发”专题项目。该项目基于共焦拉曼光谱，发展面向GAA-FET制程检测的拉曼光谱技术，探索在GAA-FET制备过程中多层纳米薄膜的厚度、应力、界面起伏、横向刻蚀和沟道载流子迁移率等关键参数的量测技术，形成一套具有重大产业应用前景的专业高端拉曼光谱设备。
本次复享光学承担的项目，属于“科学仪器研制开发”专题项目。该项目基于共焦拉曼光谱，发展面向GAA-FET制程检测的拉曼光谱技术，探索在GAA-FET制备过程中多层纳米薄膜的厚度、应力、界面起伏、横向刻蚀和沟道载流子迁移率等关键参数的量测技术，形成一套具有重大产业应用前景的专业高端拉曼光谱设备。
